摘要：一种硅片表面污渍分解剂，涉及硅材料加工技术领域，由以下重量份的原料制成：二甲苯60～80份、醋酸丁酯3～5份、阻聚剂6～8份、蔗糖酯5～7份、腐殖酸6～8份、丁二酰亚胺2～4份、氢氧化钠6～8份、白炭黑2～4份、木质素硫酸钠5～7份、柠檬酸钠5～7份、亚硫酸钠5～7份、丙烯酸月桂醇酯5～7份、木质素6～8份、玉米肽3～5份、去离子水800～850份。本发明的有益效果是：本发明制备方法简单，配方合理，制备的分解剂直接作用于硅片表面，可以将硅片表面附着的油脂污渍进行预先分解，便于后续超声波清洗，方便了后续轻易除污，避免顽固污渍，同时性能温和，不会造成硅片腐蚀，安全便捷。
